發(fā)布時(shí)間:
2020
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Dantsin-TR Scan Compact WLI非接觸式微觀形貌測(cè)量?jī)x是一款新的緊湊型白光干涉儀。體積小、使用簡(jiǎn)單,快速測(cè)量橫向尺寸用于零件的3D和微觀形貌粗糙度,納米級(jí)測(cè)量的理想解決方案。我們的白光干涉測(cè)量技術(shù)(WLI)具有 0.1納米垂直分辨率,0.4毫米測(cè)量范圍。Mirau(10x,20x,50x,100x)或 Michelson(2.5x,5x)等多種鏡頭可供選擇以覆蓋小和大視場(chǎng)。? 高速壓電陶瓷Z軸 ? Mirau 鏡頭(10x, 20x,50x, 100x) ? Michelson 鏡頭(2.5x, 5x)? 壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)集成在工作站內(nèi) ? 直接影像? 2百萬或5百萬像素?cái)z像頭(根據(jù)測(cè)量速度的需求配置)可選不同配置產(chǎn)品應(yīng)用:三維圖像